Chambergard™ BGN ファスト ベント ディフューザー
- 材料ガス供給
- 成膜
- ドライエッチング
- イオン注入
- フォトリソグラフィ
仕様書
型番 | フィルター部の長さ | フィルター部の直径 |
WG3DBGNFR4 | 119 mm | 21 mm |
WG3DBGNRR4 | 121 mm | 21 mm |
接続 | 一次側: スケットシール (VCR®互換) |
二次側: ISO NW バルクヘッドマウント互換真空フランジ (標準ISOクイック継手互換、KFまたはQF、バルクヘッドクランプ)、または使用しない (フランジレス) | |
材質 | ディフューザーエレメント: 焼結ニッケル製メンブレン (特許取得済み) |
O-リング: フッ素ゴム | |
ハウジング: 316L ステンレススチール | |
内面粗度: ≤ 32 μin Ra | |
粒子清浄度 | 0.01 μm 以上の粒子が 0.003 個/L 以下 |
除去仕様 | ≥ 0.0015 μm |
信頼性 | 10 万サイクル (@ 0.4 MPa、25 °C) |
使用条件 | 最大許容一次側圧力 (二次側真空時): 0.4 MPa |
最大許容差圧: 0.5 MPa | |
最高使用温度: 100 °C | |
推奨交換周期 | 5 年または 10 万サイクル |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 出口側接続タイプ | 入口側接続タイプ |
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WG3DBGNFR4 | ISO NW-25 | 12.7 mm (1/2")VCRオス |
WG3DBGNRR4 | Flangeless | 12.7 mm (1/2")VCRオス |