GateKeeper® EXシリーズ ガス精製システム
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仕様書
モデル | GPS20EX | GPS30EX | GPS50EX | GPS60EX |
精製対象ガス: | 無機物 | |||
メディア: | 無機物 | |||
除去対象不純物: | 水分 (H2O) | < 100 ppt | ||
一酸化炭素 (CO) | < 1 ppb | |||
酸素 (O2) | < 250 ppt | |||
CxHy (45 - 100 amu) | < 5 ppt | |||
CxHy (< 100 amu) | < 1 ppt | |||
難燃性化合物 | < 1 ppt | |||
使用圧力範囲: | 0.55 - 1.72 MPa | |||
圧力損失: | < 103.4 kPa (入口圧力が0.69 MPaで最大流量時) | |||
最高使用流量: | 20 Nm3/hr (311 SLM) | 30 Nm3/hr (466 SLM) | 50 Nm3/hr (776 SLM) | 60 Nm3/hr (932 SLM) |
使用ガス温度: | 15 °C – 40 °C | |||
ろ過精度: | ISOクラス1 (0.1 μmの粒子が 10個/m3 以下、0.2 μmの粒子が2個/m3 以下) | |||
リークレート: | 1 × 10-9 atm cc/sec |
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