GateKeeper® Z2 シリーズ ガス精製システム
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- クリーン ドライ エア (CDA) ガス向け
- SO2、SOX、NOX、H2S、H2O、CO2 などを除去
- 定常流・高純度ガス向け
仕様書
モデル | GPS20Z2 | GPS30Z2 | GPS50Z2 | GPS60Z2 |
精製対象ガス | クリーン ドライ エア (CDA) | |||
メディア | 無機物 | |||
除去対象不純物 | 揮発性酸 (SO2中で測定):1 ppt 未満 | |||
揮発性塩基 (NH3中で測定):10 ppt 未満 | ||||
難燃性化合物 (HMDSOとして測定):1 ppt 未満 | ||||
凝縮性有機物 (トルエンとして測定):1 ppt 未満 | ||||
水分 (H2O):100 ppt 未満 | ||||
使用圧力範囲 | 0.55 ~ 1.72 MPa | |||
圧力損失 | 103.4 kPa 未満 (入口圧力が 0.69 MPaで最大流量時) | |||
最高使用流量 | 20 Nm3/hr | 30 Nm3/hr | 50 Nm3/hr | 60 Nm3/hr |
ガス使用温度 | 15 ~ 40 °C | |||
ろ過精度 | ISO クラス 1 (0.1 µm の粒子が 10 個/m3 以下、0.2 μm の粒子が 2 個/m3 以下) | |||
リークレート | 1 × 10-9 atm cc/sec |
モデル | GPS90Z2 | GPS100Z2 | GPS120Z2 |
精製対象ガス | クリーン ドライ エア (CDA) | ||
メディア | 無機物 | ||
除去対象不純物 | 揮発性酸 (SO2中で測定):1 ppt 未満 | ||
揮発性塩基 (NH3中で測定):10 ppt 未満 | |||
難燃性化合物 (HMDSOとして測定):1 ppt 未満 | |||
凝縮性有機物 (トルエンとして測定):1 ppt 未満 | |||
水分 (H2O):100 ppt 未満 | |||
使用圧力範囲 | 0.55 ~ 1.72 MPa | ||
圧力損失 | 103.4 kPa 未満 (入口圧力が 0.69 MPaで最大流量時) | ||
最高使用流量 | 90 Nm3/hr | 100 Nm3/hr | 120 Nm3/hr |
ガス使用温度 | 15 ~ 40 °C | ||
ろ過精度 | ISOク ラス 1 (0.1 µm の粒子が 10 個/m3 以下、0.2 μm の粒子が 2 個/m3 以下) | ||
リークレート | 1 × 10-9 atm cc/sec |
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