MegaTorr® PS5 希ガス 精製装置
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仕様書
寸法
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
PS5-MGT15 | 185 | 61 | 89 | <204 |
PS5-MGT30 | 185 | 61 | 89 | <204 |
PS5-MGT50 | 185 | 61 | 89 | <240 |
PS5-MGT100 | 185 | 120 | 89 | <500 |
PS5-MGT150 | 185 | 180 | 89 | <750 |
PS5-MGT200 | 185 | 242 | 89 | <1,000 |
PS5-MGT350 | 193 | 193 | 127 | <1,250 |
屋外用キャビネットのオプション (OPAL) |
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使用ガス | He、Ar | ||
精製対象不純物 (精製純度 < 1 ppb) | H2O、O2、 CO、CO2、H2、N2、THC (CH4 など) | ||
最大流量* | Nm3/hr | slpm | |
PS5-MGT15 | 15 | 250 | |
PS5-MGT30 | 30 | 500 | |
PS5-MGT50 | 50 | 833 | |
PS5-MGT100 | 100 | 1,667 | |
PS5-MGT150 | 150 | 2,500 | |
PS5-MGT200 | 200 | 3,333 | |
PS5-MGT350 | 350 | 5,833 | |
* その他の流量にも対応できます。詳細はお問い合わせください。 | |||
最大圧力損失 | < 100 kPa | ||
注: | 精製装置は特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください |
標準仕様 | オプション仕様 |
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屋外用キャビネットのオプション (OPAL)
- 屋外の設置については、屋外用キャビネット (オプション) をご覧ください。
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