MegaTorr® PS6 酸素ガス 精製装置
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仕様書
寸法
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
PS6-MGT15-O | 193 | 89 | 84 | <600 |
PS6-MGT30-O | 193 | 89 | 84 | <600 |
PS6-MGT60-O | 193 | 89 | 84 | <600 |
PS6-MGT100-O | 193 | 132 | 135 | <1,700 |
PS6-MGT200-O | 193 | 132 | 135 | <1,700 |
PS6-MGT300-O | 214 | 148 | 196 | <3,100 |
PS6-MGT400-O | 214 | 148 | 196 | <3,100 |
PS6-MGT500-O | 237 | 191 | 237 | <3,850 |
* その他の流量にも対応できます。詳細はお問い合わせください。 |
屋外用キャビネットのオプション (OPAL) |
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使用ガス | O2 | ||
精製対象不純物 (精製純度 < 1 ppb) | H2O、 CO、CO2、H2、CH4 | ||
最大流量* | Nm3/hr | slpm | |
PS6-MGT15-O | 15 | 250 | |
PS6-MGT30-O | 30 | 500 | |
PS6-MGT60-O | 60 | 1,000 | |
PS6-MGT100-O | 100 | 1,667 | |
PS6-MGT200-O | 200 | 3,333 | |
PS6-MGT300-O | 300 | 5,000 | |
PS6-MGT400-O | 400 | 6,667 | |
PS6-MGT500-O | 500 | 8,333 | |
* その他の流量にも対応できます。詳細はお問い合わせください。 | |||
流量が < 6 Nm3/hr (100 slpm) 未満の場合、GateKeeper (ゲートキーパー) HGU 加熱触媒方式XCDA®、酸素 (O2) ガス精製器 (PS15) を使用し、その後 NX メディアのゲートキーパー GPU ピューリファイヤー(常温)を使用します。 | |||
最大圧力損失 | < 70 kPa | ||
注: | 精製装置は特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください |
標準仕様 |
オプション仕様 |
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屋外用キャビネットのオプション (OPAL)
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屋外の設置については、屋外用キャビネット (オプション) をご覧ください。
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