MegaTorr® PS7-A 水素ガス精製装置
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- 半導体
- データストレージ
- フラットパネル ディスプレイ
- LED
- 太陽電池
仕様書
寸法
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
PS7-MGS10-A - PS7-MGS40-A | 138 | 80 | 40 | < 110 |
PS7-MGS50-A - PS7-MGS60-A | 168 | 87 | 61 | < 180 |
PS7-MGS90-A - PS7-MGS120-A | 199 | 92 | 69 | < 300 |
PS7-MGT200-A | 208 | 130 | 163 | < 1,361 |
屋外用キャビネットのオプション (OPAL) |
|
再生サービスを利用するバルク ガスピューリファイヤー (PS14) |
|
使用ガス | H2 | ||
精製対象不純物 (精製純度 <1 ppb) | H2O、O2、 CO、CO2、NMHC (非メタン炭化水素) | ||
流量* | Nm3/hr | slpm | |
PS7-MGS10-A - PS7-MGS40-A | 10 ~ 40 | 167 ~ 667 | |
PS7-MGS50-A - PS7-MGS60-A | 50 ~ 60 | 833 ~ 1,000 | |
PS7-MGS90-A - PS7-MGS120-A | 90 ~ 120 | 1,500 ~ 2,000 | |
PS7-MGT200-A | 200 | 3,333 | |
* その他の流量にも対応できます。詳細はお問い合わせください。 | |||
最大圧力損失 | < 70 kPa | ||
注: | 精製装置は特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください |
標準仕様 | オプション仕様 |
|
|
屋外用キャビネットのオプション (OPAL)
- 屋外の設置については、屋外用キャビネット (オプション) をご覧ください。
再生サービスを利用するバルク ガス精製装置 (PS14)
- 常温の溶接ガスまたは一時的な精製
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました