MegaTorr® PS9 窒素ガス 精製装置
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仕様書
寸法
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
PS9-MGT15 - PS9-MGT60 | 193 | 89 | 84 | < 600 |
PS9-MGT100 - PS9-MGT200 | 193 | 132 | 135 | < 1,700 |
PS9-MGT300 - PS9-MGT400 | 214 | 148 | 196 | < 3,100 |
PS9-MGT500 - PS9-MGT700 | 237 | 237 | 191 | < 3,850 |
PS9-MGT800 - PS9-MGT1800 | 266 | 253 | 315 | < 6,800 |
PS9-MGT2000 - PS9-MGT3000 | 274 | 254 | 412 | < 8,700 |
屋外用キャビネットのオプション (OPAL) |
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使用ガス | N2 | ||
精製対象不純物 (精製純度 < 1 ppb) | H2O、O2、CO、CO2、H2、CH4 | ||
流量* | Nm3/hr | slpm | |
PS9-MGT15 - PS9-MGT60 | 15 ~ 60 | 250 ~ 1,000 | |
PS9-MGT100 - PS9-MGT200 | 100 ~ 200 | 1,667 ~ 3,333 | |
PS9-MGT300 - PS9-MGT400 | 300 ~ 400 | 5,000 ~ 6,667 | |
PS9-MGT500 - PS9-MGT700 | 500 ~ 700 | 8,333 ~ 11,667 | |
PS9-MGT800 - PS9-MGT1800 | 800 ~ 1,800 | 13,333 ~ 30,000 | |
PS9-MGT2000 - PS9-MGT3000 | 2,000 ~ 3,000 | 33,333 ~ 50,000 | |
* その他の流量にも対応できます。詳細はお問い合わせください。 | |||
最大圧力損失 | < 70 kPa:PS9-MGT15 - PS9-MGT60 のみ < 100 kPa | ||
注: | 精製装置は特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください |
標準仕様 | オプション仕様 |
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屋外用キャビネットのオプション (OPAL)
屋外の設置については、屋外用キャビネット (オプション) をご覧ください。
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