Wafergard® IV HF ミニ インライン ガスフィルター
アロイ 22 製フィルターは、O3 ガスでの使用は推奨できません。
- 高純度なガス、腐食性ガスライン
- 高温ライン
- 圧力変動があるライン
- 新規設備
仕様書
材質 | フィルター部 | 焼結 アロイ 22 メンブレン |
ハウジング | 316L VAR ステンレススチール (電解研磨) | |
初期粒子清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 µm | |
内面粗度 | ≤ 5 µin Ra | |
He リークレート | 認証値 | 2 × 10-10 atm cc/sec |
試験値 | 1 × 10-9 atm cc/sec | |
使用条件 | 最高入口側圧力 | 17.2 MPa @ 20 ℃) |
最大許容正/逆差圧 | 0.8 MPa 未満* @ 20 °C | |
最高使用温度 | 450 °C (不活性ガス) | |
100 °C (腐食性、反応性ガス) | ||
製品保証 | 5 年 | |
粒子捕捉率 | すべての粒子を 99.9999999 % (LRV 9) 以上 (最も通過しやすい粒子径において) | |
流量 | 性能データをご覧ください | |
* 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
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WGL045HS3R2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") |
WGL045HS3R4 | 入口/出口12.7 mm (1/2")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") |
アロイ 22 製フィルターは、O3 ガスでの使用は推奨できません。