Wafergard® III NF マイクロ インライン ガスフィルター
- 高純度ガスライン
- 高温用途
- 新規設備
- 圧力変動のあるアプリケーション
- 不活性ガスおよび反応性の高いガス
仕様書
材質 | フィルター部:焼結ニッケル製メンブレン |
ハウジング:VAR 316L ステンテススチール (電解研磨) | |
内面粗度 | Ra ≤ 5 µin |
Heリークレート | 認定値 2 x 10-11 Pa・m3/sec、 試験条件 1 x 10-10 Pa・m3/sec |
粒子清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 |
粒子捕捉率 | すべての粒子の 99.9999999% (LRV 9) 以上を除去 @ 120 slpm (最も透過しやすい粒子サイズにおいて) |
除粒子径 | 0.0015 µm |
使用条件 | 最高使用圧力:1 MPa 未満 (日本国内における仕様) |
最大許容正差圧/逆差圧:1 MPa | |
最高使用温度: 不活性ガス:400 °C | |
腐食性ガスおよび反応性ガス:50 °C | |
流量 | 性能データをご確認ください |
製品保証 | 5 年 |
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型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
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WG3NS5RR2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") |
WG3NSMFF2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®継手互換)メス | 58.4 mm (2.30") |
WG3NSMFR2 | 入口6.35 mm (1/4")有極性ガスケットシール(VCR®継手互換)メス、出口同オス | 71.1 mm (2.80") |
WG3NSMJJ2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")突き合わせ溶着 | 28.4 mm (1.12") |
WG3NSMSL2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 50.8 mm (2.00") |