Wafergard® III NF マイクロ XL インライン ガスフィルター
- 高純度ガスライン
- 高温用途
- 新規ファブ設備
- 圧力変動のあるアプリケーション
- 不活性ガスおよび反応性の高いガス
仕様書
材質: | フィルターエレメント | 焼結ニッケル製メンブレン | |
ハウジング | VAR 316L ステンレススチール (電解研磨) | ||
粒子清浄度: | パーティクル数 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
揮発性物質 | 揮発性物質 (H2O、O2、THC) のアウトガスは検出限界未満 (室温での RGA と FID による) | ||
除粒子径: | ≥ 0.0015 μm | ||
内面粗度: | Ra ≤ 5 μin | ||
Heリークレート: | 認定値 | 2 × 10-11 Pa・m3/sec | |
試験条件 | 1 × 10-10 Pa・m3/sec | ||
使用条件: | 最高使用圧力 | 1 MPa (日本国内における仕様) | |
最大許容正差圧/逆差圧 | 1 MPa | ||
最高使用温度 | 不活性ガス | 400 °C | |
腐食性ガスおよび反応性の高いガス | 50 °C | ||
製品保証: | 5 年 | ||
粒子捕捉率: | すべての粒子の 99.9999999 % (LRV 9) 以上を除去 @ 15 slpm | ||
流量: | 性能データをご確認ください |
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