Wafergard® III NF-75 インライン ガスフィルター
注:CO、O3、および低濃度のハイドライド系ガスには使用できません。
- 超高純度ガスライン
- 高温環境
- バルブ マニホールド ボックス
- 新規設備
- 圧力変動のある環境
- 不活性ガスおよび反応性ガス
仕様書
材質 | フィルターエレメント | 焼結ニッケル製メンブレン | |
ハウジング | VAR 316L ステンレススチール (電解研磨) | ||
粒子清浄度 | 粒子数1 | 0.01 µm以上の粒子が 0.03個/L 以下 | |
揮発性物質2 | 揮発性物質 (H2O、O2、THC) のアウトガスは検出限界未満 (室温での RGA と FID による) | ||
除粒子径 | 0.0015 μm | ||
内面粗度 | Ra ≤ 5 μin | ||
Heリークレート | 認定値 | 2 × 10-11 Pa・m3/sec | |
試験条件 | 1 × 10-10 Pa・m3/sec | ||
使用条件 | 最高使用圧力 | 1 MPa 未満 (日本国内における仕様) | |
最大許容正差圧/逆差圧 | 1 MPa | ||
最高使用温度 | 不活性ガス | 400 °C | |
腐食性ガスおよび反応性の高いガス | 50 °C | ||
製品保証 | 5 年 | ||
粒子捕捉率 | すべての粒子の 99.9999999 % (LRV 9) 以上を除去 @ 最大定格流量 (最も透過しやすい粒子サイズにおいて) | ||
流量 | 性能データをご確認ください | ||
1 粒子清浄度は、SEMASPEC の粒子シェディング試験法 (# 93021511A-STD) に基づいています 2 SEMASPEC の揮発物清浄度試験法に基づいています:THC (# 90120396B-STD)、水分 (# 90120397B-STD)、および酸素 (# 90120398B-STD) |
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