Wafergard® SL 1.5" W-Seal 集積 ガスフィルター
- 高純度ガスライン
- 高温用途
- 圧力変動のあるアプリケーション
- 不活性ガス、ハイドライドガス、COガス用のステンレス製フィルターおよび、不活性ガス、反応性の高いガス用のニッケル製フィルター
仕様書
材質: | フィルター | 316Lステンレススチールまたはニッケル |
ハウジング | Low Sulfur 316Lステンレススチール | |
粒子捕捉率: | ニッケル製フィルター | 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上 (60L/min@20°C, 101 kPa) |
ステンレススチール製フィルター | 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上 (5L/min@20°C, 101 kPa) | |
粒子清浄度: | 0.01µm以上の粒子が0.03個/L以下 | |
使用条件: | 最高使用圧力 | 0.97 MPa |
最大許容正差圧/逆差圧 | 0.97 MPa | |
最高使用温度 | 400°C (不活性ガス) | |
内面粗度: | Ra < 0.17 µm | |
Heリークレート: | < 1 x 10-10 Pa・m3/sec |
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