Wafergard® ミニ XL インライン ガスフィルター
- CVD
- ドライエッチャー
- 比較的低い使用温度(120 °C以下)の不活性ガス
仕様書
材質: | フィルター | PTFE |
サポート | PFA | |
O-リング | PTFE | |
ハウジング/エンドキャップ | 316L ステンレススチール | |
内面処理: | 電解研磨 (内面粗度: Ra < 0.64 µm) | |
特殊電解研磨 (内面粗度: Ra < 0.17 µm) | ||
除粒子径: | 0.003 μm | |
膜面積: | 30 cm2 | |
接続: | 6.35 mm (1/4") または 9.53 mm (3/8") コンプレッションシール (Swagelok互換) | |
6.35 mm (1/4") または 9.53 mm (3/8") ガスケットシール (VCR互換) | ||
使用条件: | 最高使用圧力 | 1 MPa 未満 |
最大許容正差圧 | 0.4 MPa | |
最大許容逆差圧 | 0.07 MPa | |
最高使用温度 | 120 °C | |
添付品: | コンプレッションシール用 フロントフェルール、バックフェルール、ナット各2個 (対象型番: WGFG02PS1、WGFG02PSU、WGFG32PS1) |
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