Wafergard® Max 1000 インライン ガスフィルター
- SiCl4、GeCl4、POCl3のろ過
- 光ファイバー製造
- 石英ガラス製造
仕様書
材質 | フィルターエレメント | PFAサポート / PTFEメンブレン |
ハウジング | 316L ステンレススチール | |
O-リング | 被覆フッ素ゴム(E-FKM) | |
内面粗度 | Ra ≤0.64 μm (RR4, SS4), Ra ≤0.18 µm (RR6) | |
粒子捕捉率 | 0.0015 μm以上のパーティクルを99.9999999%以上 | |
粒子清浄度 | 0.01 μm以上の粒子が 0.03個/L以下 | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 3.7 MPa |
最大許容正差圧 | 0.39 MPa | |
最大許容逆差圧 | 0.25 MPa | |
最高使用温度 | 120°C | |
Heリークレート | 1 × 10-10 Pa・=m3/sec |
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