Wafergard® SG インライン ガスフィルター
- 太陽電池セルのプロセス装置ガスパネル
- フラットパネルディスプレイのプロセス装置ガスパネル
- シリンダーキャビネット低圧側
- バルブ マニホールド ボックス
仕様書
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型番 | 製品タイプ | 最大流量 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
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WGFG02PR1 | Wafergard® SG F Mini XL gas filter | 120 slpm | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®互換) | 127 mm (5.00") |
WGFG02PS1 | Wafergard® SG F Mini XL gas filter | 120 slpm | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 115.5 mm (4.55") |
WGFG32PR1 | Wafergard® SG F Mini XL gas filter | 120 slpm | 1/2" gasket seal (VCR® compatible) | 133.5 mm (5.26") |
WGFG32PS1 | Wafergard® SG F Mini XL gas filter | 120 slpm | 9.52 mm (3/8")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 119.3 mm (4.70") |
WGFG50PR1 | Wafergard® SG F Mini XL gas filter | 120 slpm | 1/2" gasket seal (VCR® compatible) | 127 mm (5.00") |
WGFGMBPRF2 | Wafergard® SG Max gas filter | 500 slpm | 入口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®継手互換)オス、出口同メス | 141.2 mm (5.6") |
WGFGMBRR2 | Wafergard® SG Max gas filter | 500 slpm | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®互換) | 127 mm (5.00") |
WGFGMBRR4 | Wafergard® SG Max gas filter | 1000 slpm | 1/2" gasket seal (VCR® compatible) | 127 mm (5.00") |
WGFGMBSS2 | Wafergard® SG Max gas filter | 500 slpm | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 112.7 mm (4.44") |
WGFGMBSS3 | Wafergard® SG Max gas filter | 1000 slpm | 9.52 mm (3/8")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 117.9 mm (4.64") |
WGFGMBSS4 | Wafergard® SG Max gas filter | 1000 slpm | 12.7 mm (1/2")コンプレッションシール(1/2" Swagelok®互換) | 118.7 mm (4.67") |
WGFGT1PR1 | Wafergard® SG F Micro gas filter | 60 slpm | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®互換) | 84.1 mm (3.31") |
WGFGT1PS1 | Wafergard® SG F Micro gas filter | 60 slpm | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 73.7 mm (2.90") |
YY5001HR1 | Wafergard® SG PA gas filter | 60 slpm | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®互換) | 84.1 mm (3.31") |
YY5001HS1 | Wafergard® SG PA gas filter | 60 slpm | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 73.7 mm (2.90") |
YY5002PR1 | Wafergard® SG PAL gas filters | 120 slpm | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®互換) | 127.0 mm (5.00") |
YY5002PS1 | Wafergard® SG PAL gas filters | 120 slpm | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 115.5 mm (4.55") |
YY5032PR1 | Wafergard® SG PAL gas filters | 200 slpm | 9.52 mm (3/8")ガスケットシール(VCR®互換) | 133.5 mm (5.26") |
YY5032PS1 | Wafergard® SG PAL gas filters | 200 slpm | 9.52 mm (3/8")コンプレッションシール(Swagelok®互換) | 119.3 mm (4.70") |