Wafergard®GT-プラス インライン ガスフィルター
- 低吸気量フィルター
- ウェーハ搬送システム
- クリーンドライエア (CDA)
仕様書
メンブレン | PTFE | |
サポート/ハウジング | PFA | |
推奨流量 | 30 L/min @ 20°C, 101 kPa | |
接続 | 3.18 mm (1/8") または 6.35 mm (1/4") コンプレッションシール | |
寸法 | 面間: | 3.18 mm (1/8") 接続: 69 mm |
6.35 mm (1/4") 接続: 71.5 mm | ||
胴径 | 24 mm (最大) | |
最高使用圧力 | 0.41 MPa | |
最大許容正差圧 | 0.34 MPa | |
最大許容逆差圧 | 0.034 MPa | |
最高使用温度 | 50°C | |
膜面積 | 12 cm2 | |
除粒子径 | 0.0015 μm |
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JPMFJK001
6.34 mm (1/4") PFA compression ferrule and nut for use with Wafertard® GT-Plus gas filters