Wafergard®GTL インライン ガスフィルター
- 低吸気量フィルター
- ウェーハ搬送システム
- クリーンドライエア(CDA)
仕様書
材質 | メンブレン: PTFE |
サポート/ハウジング: ポリスルフォン | |
接続: Rc 1/4 または 1/4 NPTメス | |
膜面積: 25 cm2 | |
除粒子径 | 0.0015 μm |
使用条件 | 最高使用圧力: 0.41 MPa |
最大許容正差圧: 0.41 MPa | |
最大許容逆差圧: 0.034 MPa | |
最高使用温度: 50°C | |
寸法 | 胴径: 25 mm |
面間: 1/4NPTメス 99.5 mm, Rc1/4 100.1 mm |
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