イオン インプラント ビーム
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- 高耐久性ビーム定義部品
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仕様書
代表的な材料特性 | |||||
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特性 | ZEE-2 | DFP-3-2 | SCF-2 | CZR-2 | ピログラフ |
粒径: | 1 µm | 5 µm | 5 µm | 5 µm | 5 µm |
みかけ密度: | 1.77 g/cm³ | 1.82 g/cm³ | 1.77 g/cm³ | 1.65 g/cm³ | 1.53 g/cm³ |
曲げ強度: | 103 MPa | 83 MPa | 93 MPa | 61 MPa | 34 MPa |
圧縮強度: | 193 MPa | 140 MPa | 172 MPa | 93 MPa | 83 MPa |
電気抵抗: | 3048 µΩ-cm | 1524 µΩ-cm | 2438 µΩ-cm | 1840 µΩ-cm | 2145 µΩ-cm |
硬度: ショア | 100 | 74 | 91 | 70 | 68 |
熱膨張係数: | 8.4 µm/m°C | 8.1 µm/m°C | 7.6 µm/m°C | 7.8 µm/m°C | 7.8 µm/m°C |
純度: | < 5 ppm | < 5 ppm | < 5 ppm | < 5 ppm | < 5 ppm |
熱分解カーボン: | 12%ピックアップ |
1 4点押し曲げ法で計測しました。
2 試験面積 = 直径31.75 mm (1.25”)/試料厚さ6.35 mm (0.25”)
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