SUPERSiC®-Si
- エッチングシステム
- 光学シリコン被覆
仕様書
みかけ密度: | 3.01 g/cm3 |
かさ密度: | 2.93 g/cm3 |
全気孔率: | 4% |
開放気孔率: | 1% |
総不純物濃度: | < 10 ppm |
曲げ強度: | 192 MPa |
引張強度: | 124 MPa |
弾性係数: | 331 GPa |
比剛性: | 113 kN.m/g |
ポアソン比: | 0.17 |
動剛性率: | 138 GPa |
破壊靭性: | 3.78 MPa.m0.5 |
硬度: | 1643 kg/mm2 |
熱拡散率: | 115 mm2/s |
熱伝導率: | 220 W/m-K |
常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
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