SUPERSiC®シリコンカーバイド部品
プロセスの安定性を高め、長寿命を実現するSUPERSiC®チャンバーコンポーネント
G4およびG5システム向けSUPERSiC®交換用ディスクは、プロセスの安定性、PL性能、寿命という3つの重要なパラメータの優位性が実証されています。コンポーネントには、50.8mm (2”)ディスクと、カスタム設計に利用できる内周および外周セグメントが含まれます。
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