M20X ウェーハ SMIF ポッド
ID オプションの説明:
- BRCL, 2x:バーコードラベル 2 枚
- CRDH:TR14 タイプのカードホルダー
- LZMRK:レーザーマーキング
- SNSR, BLCKL, 2x:センサーブロックラベル 2 枚
- TRVH:電子 ID トラベラータグ用ホルダー
インテグリスの SMIF ポッドは、先進の 200 mm ウェーハ搬送用キャリアと組み合わせることで、半導体メーカーに以下のような汚染管理を提供します。
- 汚染のないウェーハ搬送
- 環境から隔離されたウェーハの保管
仕様書
一般仕様
適合ウェーハキャリア | ほとんどの 25 枚および 26 枚収容の 200 mm ウェーハキャリアに対応 - 最も標準的なキャリアの M200 シリーズ - ワイドフランジ付きキャリアの M205 シリーズ |
底部の寸法 | 292.2 mm × 282.2 mm |
ポッドの高さ (トップフランジを除く) | 268.0 mm |
重さ (空の状態) | 2.26 kg |
重さ (シェルのみ) | 1.70 kg |
重さ (ドアのみ) | 0.66 kg |
SEMI® 規格 E19 に準拠 |
オプション
自動化対応 | 天井搬送システムに対応した自動化対応トップフランジ |
パージ | 不活性ガスパージ用オプション |
梱包 | カードホルダーおよびトラベラー |
搬送 | 有人・無人 (自動) 搬送車用サイドレール |
マニュアル搬送用サイドハンドル |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ドームの色 | ドームハウジング | ハンドルの色 | ウェーハリテーナーのタイプ | Dome Top Interface | ドアのタイプ | Cassette Interface | IDオプション |
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M200-5010 | 透明 | 標準 | Black | 第1世代8" | Top AK flange | M200ドア | Wide guide | なし |
M200-5010E | 透明 | 標準 | Black | 第1世代8" | Top AK flange | E200ドア | Wide guide | なし |
M200-5022 | アンバー | 標準 | Black | 第1世代8" | Top AK flange | M200ドア | Wide guide | TRVH |
M200-5023 | アンバー | 標準 | Black | 第1世代8" | None | M200ドア | Wide guide | TRVH |
M200-5025EP | アンバー | 標準 | Black | 第3世代 | None | E200ドア | Narrow guide | BRCL, 2X |
M200-5028 | 透明 | 標準 | Black | 第1世代8" | Top AK flange | M200ドア | Wide guide | TRVH |
M200-5046 | 透明 | 引き込み部 | Black | 第3世代 | None | M200ドア | Wide guide | TRVH |
M200-5082 | アンバー | 標準 | Black | 第3世代 | None | M200ドア | Wide guide, BEOL | なし |
M200-5090E | 透明 | 標準 | Black | 第3世代 | None | E200ドア | Wide guide | CRDH, TRVH, LZMRK |
M200-5093E | 透明 | 標準 | Red | 第3世代 | None | E200ドア | Wide guide | CRDH, TRVH, LZMRK |
M200-5110 | 透明 | 標準 | Black | 第3世代 | Top AK flange w/ centering adapter | M200ドア | Narrow guide | なし |
M200-5111 | 透明 | 標準 | Green | 第3世代 | Top AK flange w/ centering adapter | M200ドア | Narrow guide | なし |
M200-5112 | 透明 | 標準 | Tan | 第3世代 | Top AK flange w/ centering adapter | M200ドア | Narrow guide | なし |
M200-5112EFJ | 透明 | 標準 | Tan | 第3世代 | Top AK flange w/ centering adapter | E200ドア | Step guide | なし |
M200-5114 | 透明 | 標準 | Black | 第1世代6" | None | E200ドア | Wide guide | なし |
M200-5115 | アンバー | 標準 | Black | 第1世代6" | None | E200ドア | Wide guide | なし |
M200-E046 | 透明 | 引き込み部 | Black | 第3世代 | None | E200ドア | Wide guide | TRVH |
M200-ET046-0110 | アンバー | 引き込み部 | Tan | 8" Black PEEK™ Spring (G3-M) | None | E200 door with ESI (enhanced SMIF interface) | Wide guide | TRVH |
M200-ET046-10 | 透明 | 引き込み部 | Tan | 8" Black PEEK™ Spring (G3-M) | None | E200 door with ESI (enhanced SMIF interface) | Wide guide | TRVH |
M205-2002-16S | 透明 | 標準 | Red | 第3世代 | None | なし | N/A | TRVH |
ID オプションの説明:
- BRCL, 2x:バーコードラベル 2 枚
- CRDH:TR14 タイプのカードホルダー
- LZMRK:レーザーマーキング
- SNSR, BLCKL, 2x:センサーブロックラベル 2 枚
- TRVH:電子 ID トラベラータグ用ホルダー