InVue® CR288 液体用濃度計
ソフトウェア
最大4個のセンサーのセットアップ、校正、モニタリング、データ記録を行えるWindows®ベースのインターフェイスです。システム要件: Windows 98以降、128 MB以上の RAM、CD-ROM。
288-connect®ソフトウェアパッケージをダウンロードしてください。
インビュー CR288 液体濃度計のインラインでリアルタイムに屈折率を測定する技術を利用して、以下のような薬液の計測点(最大4箇所)でモニタリングが可能です。
- BEOLとFEOLの洗浄
- CMP
- 電気メッキ
- フォトリソグラフィ など
仕様書
寸法 | |||
ポート接続 | A | B | C |
6.35 mm (1/4")フレアテック | 86.4 mm | 86.1 mm | 18.0 mm |
6.35 mm (1/4")スーパー300タイプピラー | 67.3 mm | 86.1 mm | 18.0 mm |
6.35 mm (1/4")プライムロック | 78.0 mm | 86.1 mm | 18.0 mm |
9.52 mm (3/8")フレアテック | 91.9 mm | 91.2 mm | 20.6 mm |
9.52 mm (3/8")スーパー300タイプピラー | 79.2 mm | 91.2 mm | 20.6 mm |
9.52 mm (3/8")プライムロック | 94.2 mm | 91.2 mm | 20.6 mm |
12.7 mm (1/2")フレアテック | 96.0 mm | 95.2 mm | 22.6 mm |
12.7 mm (1/2")スーパー300タイプピラー | 85.1 mm | 95.2 mm | 22.6 mm |
12.7 mm (1/2")プライムロック | 101.9 mm | 95.2 mm | 22.6 mm |
19.05 mm (3/4")フレアテック | 110.0 mm | 99.8 mm | 24.9 mm |
19.05 mm (3/4")スーパー300タイプピラー | 113.8 mm | 99.8 mm | 24.9 mm |
19.05 mm (3/4")プライムロック | 116.6 mm | 103.1 mm | 28.2 mm |
下記の性能データは校正範囲内(屈折率校正点の±0.3%または濃度の±0.3%)の動作に基づいています。****
項目 | 性能 |
屈折率精度 (屈折率単位、RIU): | ± 2 × 10-4 |
屈折率再現性: | 2.5 × 10-5 |
屈折率分解能: | 1.0 × 10-5 |
濃度精度: | ± 0.2 wt%*** |
濃度再現性: | ± 0.025 wt% |
濃度分解能: | 0.01 wt%以上(薬液に依存) |
温度の精度: | ± 0.2 °C |
温度再現性: | 0.1 °C |
温度分解能: | 0.05 °C |
応答時間: | 1.2秒 (移動平均処理しない場合。移動平均処理はユーザー設定可能です。) |
*** エチレングリコールを圧力 35 kPa ± 1.7 kPa、温度 20 °C ± 0.1 °Cで測定した場合。
**** 流体の温度補正係数(TCC)は、室温の純水を使用して工場にて校正済みです。
センサー部材: | フローセル | 改質PTFE* | |
接液ウィンドウ | 半導体グレードのサファイア* | ||
ケーブルコネクタ | ポリプロピレン/PVDF | ||
ボンネット | ポリプロピレン | ||
取り付け用プレート | PVDF | ||
センサーの使用条件: | 流体圧力 | 0 - 0.55 MPa | |
流体温度 | 5 °C - 50 °C | ||
流体の屈折角 | 1.28000から1.40000** | ||
DDU: | 電源 | 24 VDC (± 5 %)、0.5 A以上 | |
電源 (アダプタ使用時) | 110 / 240 VAC、50/60 ± 3 Hz | ||
シリアルポート | RS-232 | ||
アナログ出力 | 4 - 20 mA (温度および濃度)、DDU 1台当たり最大4個のセンサー | ||
コネクタ | IP67 適合、12ピン、1A、パネルマウントタイプ | ||
使用環境温度 | 25 °C ± 5 °C | ||
アナログ出力: | 4 - 20 mA (スケール配分可能なアナログ信号) | ||
シリアル通信: | RS-232 (シリアル通信によるデジタル信号3) | ||
ソフトウェア: | 最大4個のセンサーのセットアップ、校正、モニタリング、データ記録を行えるWindows®ベースのインターフェイスです。システム要件: Windows 98以降、128 MB以上の RAM、CD-ROM。 288-connect®ソフトウェアパッケージをダウンロードしてください。 |
* 接液部材
** 屈折率が1.40000を超える液体の測定については、お問い合わせください。
*** 288 コネクトソフトウェアと同等の機能を持つフルデジタルプロトコルで装置との通信に対応できます。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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- インビュー濃度計 - 半導体用途
- インビュー濃度計 - バイオプロセス用途
Concentration Monitors - Index of Refraction Technology
Concentration Monitors - Semiconductor Applications
型番 | 種類 | 電気接続 | フローセル数 | 入口ポートのサイズ | 入口ポートのタイプ | 出口ポートのサイズ | 出口ポートのタイプ |
---|---|---|---|---|---|---|---|
CPAAALAXX12F12F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 1 | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® |
CPAAALAXX4F4F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 1 | 6.35 mm (1/4") | Flaretek® | 6.35 mm (1/4") | Flaretek® |
CPAAALAXX8F8F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 1 | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® |
CPAAALBXX12F12F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 2 | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® |
CPAAALBXX12W12W | 濃度計キット | ターミナルブロック | 2 | 19.05 mm (3/4") | スーパー300タイプPillar® | 19.05 mm (3/4") | スーパー300タイプPillar® |
CPAAALBXX8F8F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 2 | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® |
CPAAALDXX6F6F | 濃度計キット | ターミナルブロック | 4 | 9.52 mm (3/8") | Flaretek® | 9.52 mm (3/8") | Flaretek® |
CPAAALPXX12F12F | フローセル | 配線ケーブル | 1 | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® | 19.05 mm (3/4") | Flaretek® |
CPAAALPXX4F4F | フローセル | 配線ケーブル | 1 | 6.35 mm (1/4") | Flaretek® | 6.35 mm (1/4") | Flaretek® |
CPAAALPXX6F6F | フローセル | 配線ケーブル | 1 | 9.52 mm (3/8") | Flaretek® | 9.52 mm (3/8") | Flaretek® |
CPAAALPXX8F8F | フローセル | 配線ケーブル | 1 | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® | 12.7 mm (1/2") | Flaretek® |
CPAAANPXXCBL4 | センサーケーブル | 配線ケーブル | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
CPAAANPXXDDU3 | デジタル表示ユニット | ターミナルブロック | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
CPAAANPXXPWR1 | 電源 | 3極AC壁コンセント | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
CPAAANPXXSMA | RS232ケーブルおよびソフトウェア | USB - DSUB | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
CPAAANPXXUSB1 | RS232ケーブル | USB - DSUB | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
ソフトウェア
最大4個のセンサーのセットアップ、校正、モニタリング、データ記録を行えるWindows®ベースのインターフェイスです。システム要件: Windows 98以降、128 MB以上の RAM、CD-ROM。
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