Azora™ フォトケミカル バルク フィルター
- 先端フォトケミカルおよび材料
- 先端レジスト溶剤
仕様書
長さ | A | B |
10 インチタイプ | 262.3 mm | 245.0 mm |
20 インチタイプ | 506.6 mm | 489.2 mm |
アゾーラ Gen 1 | アゾーラ Gen 2 | アゾーラ Gen 1 | アゾーラ Gen 2 | ||
材質 | メンブレン | ポリイミド | |||
サポート、コア、スリーブ、ハウジング (ハウジングはディスポーザブルタイプのみ) | 高密度ポリエチレン (HDPE) | ||||
O リング | 被覆フッ素ゴム (E-FKM、規格:AS568-222) | – | |||
接続 | コード 0 | 6.35 mm (1/4") コンプレッションシール | |||
膜面積 | 10 インチタイプ: 1.01 m2 20 インチタイプ: 2.09 m2 | 10 インチタイプ: 1.31 m2 20 インチタイプ: 2.62 m2 | 0.22 m2 | ||
ホールドアップ ボリューム | – | 160 mL | |||
使用条件 | 最高入口側圧力 | – | 0.34 MPa @ 25 °C | ||
最大許容正/逆差圧 | 0.24 MPa @ 25 °C | 0.27 MPa @ 25 °C | |||
最高使用温度 | 60 °C | ||||
流量特性 | 圧力損失 | 10 インチタイプ: 1.9 L/min @ 0.02 MPa 20 インチタイプ: 3.6 L/min @ 0.02 MPa | 10 インチタイプ: 2.2 L/min @ 0.04 MPa 20 インチタイプ: 4.4 L/min @ 0.04 MPa | 1.4 L/min @ 0.06 MPa | 0.7 L/min @ 0.06 MPa |
形状 | 長さのタイプ | 10 インチタイプ、20 インチタイプ | – | ||
胴径 | 70 mm | – |
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型番 | 製品タイプ | クリーン度 | 形状 | メンブレン |
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AZ0101MTU3 | カートリッジ | ウルトラクリーン | 10 インチタイプ、φ 70 mm | アゾーラ Gen 1 |
AZ0102MTU3 | カートリッジ | ウルトラクリーン | 20 インチタイプ、φ 70 mm | アゾーラ Gen 1 |
AZ010S2S1U3 | ディスポーザブル | ウルトラクリーン | ショートタイプ | アゾーラ Gen 1 |
AZ0201MTU3 | カートリッジ | ウルトラクリーン | 10 インチタイプ、φ 70 mm | アゾーラ Gen 2 |
AZ0202MTU3 | カートリッジ | ウルトラクリーン | 20 インチタイプ、φ 70 mm | アゾーラ Gen 2 |
AZ020S2S1U3 | ディスポーザブル | ウルトラクリーン | ショートタイプ | アゾーラ Gen 2 |