Microgard™ PI カートリッジ フィルター
- 半導体、薬液製造、フラットパネルディスプレイ
- フォトリソグラフィ、施設、有機層プリンティング
- 高粘度薬液
仕様書
材質: | フィルター:超高分子量ポリエチレン (UPE) |
サポート、コア、スリーブ: 高密度ポリエチレン (HDPE) | |
ケムロックキー (キー付きのみ): PFA | |
O-リング (AS568-222): E-FKM (被覆フッ素ゴム) | |
除粒子径: | 0.2、0.5、1.0 µm |
膜面積: | 0.2 µm: 8800 cm2 |
0.5 µm: 8000 cm2 | |
1.0 µm: 8000 cm2 | |
使用条件: | 最高入口側圧力: 0.39 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧: 0.39 MPa @ 25 °C | |
最大許容逆差圧: 0.255 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度: 60 °C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 流量 | ケムロックキー | 長さ | 除粒子性能 |
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PIAA01P01 | 低流量 | なし | 10 インチタイプ | 1 µm |
PIAA01P01K | 低流量 | あり | 10 インチタイプ | 1 µm |
PIAA02P01 | 低流量 | なし | 20 インチタイプ | 1 µm |
PIAG01P01 | 低流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
PIAG01P01D | 低 - 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
PIAG01P01K | 低 - 中流量 | あり | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
PIAG02P01 | 低 - 中流量 | なし | — | 0.2 µm |
PIAG02P01K | 低 - 中流量 | あり | 20 インチタイプ | 0.2 µm |
PIAG02P01T | 低 - 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.2 µm |
PIAH01P01 | 低流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.5 µm |
PIAH01P01K | 低流量 | あり | 10 インチタイプ | 0.5 µm |
PIAH02P01 | 低流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.5 µm |