2.5 インチ以下のウェーハキャリア
- 施設内でのハンドリング
- ウェーハの保管
仕様書
ウェーハ径 | D1 寸法 | ポケットピッチ | ポケットフラット | 外形寸法 |
2.5 インチ | 14.0 mm | 4.76 mm | 1.27 mm | 142 mm x 79 mm x 73 mm |
2.25 インチ | 14.0 mm | 4.76 mm | 1.52 mm | 142 mm x 73 mm x 67 mm |
2 インチ | 14.0 mm | 4.76 mm | 1.02 mm | 142 mm x 68 mm x 59 mm |
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型番 | 色 | 材質 | ウェーハサイズ |
---|---|---|---|
A72-20M-0215 | ナチュラル | PFA | 50.8 mm (2") |
A72-22M-0215 | ナチュラル | PFA | 57.2 mm (2.25") |
PA72-20M-0603 | 青 | ポリプロピレン | 50.8 mm (2") |
PA72-20M-61C02 | 黒 | STAT-PRO® 100 | 50.8 mm (2") |
PA72-22M-0603 | 青 | ポリプロピレン | 57.2 mm (2.25") |
PA72-25M-0603 | 青 | ポリプロピレン | 2.5" |