CR4 シリーズ空圧式 3 方バルブ、上面接続 NPT メス
- 高純度な腐食性薬品
- あらゆる半導体ウェーハの洗浄・剥離 (WEC) プロセス用薬品
- 9.53 mm (3/8") 以下の配管用
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がない CR4 シリーズバルブは、完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- 薬液供給システムに合わせたマニホールド化を可能にするモジュール型設計
- インテグリスの独立型 Galtek® (ガルテック) SG シリーズバルブや Dymension® (ダイメンション) バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数 | A | B | C |
1/4" (6.35 mm) フレアテック | 0.3 Cv (4.0 Kv) | 75.9 mm | 58.4 mm | 38.1 mm |
材質 | すべての接液部 | PTFE、PFA | |
外部アクチュエータ部品 | PVDF、フッ素ゴム | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、フッ素ゴム | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用 条件 |
最高使用圧力 | 21 °C | すべてのポート:552 kPa* |
130 °C | 共通ポート:276 kPa*、** | ||
130 °C | ノーマリーオープン/クローズのポート:207 kPa*, ** | ||
エア供給圧 | 21 °C | 414 ~ 552 kPa* | |
130 °C | 414 ~ 483 kPa* | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 21 ~ 50 °C | |
流体温度 | 21 ~ 130 °C* | ||
エア供給ポート | 1/8 NPT メス | ||
適合規格 | RoHs、WEE |
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
**メディア温度が 100 °C 以上の場合は、温度が 30 °C 以下に低下したときにパイロット圧を抜くか、入れ直すことを推奨します。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
-
01-006010
Mounting base for use with all 1/4" 3-way CR4 Series and SG Series valves
型番 | ポート接続 | オプション | Port 1 Configuration |
---|---|---|---|
CR4-3CN-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット | Standard (normally open) |
CR4-3CN-4F-1C | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット | Reverse (normally closed) |