CR4 シリーズ 空圧式 2 方バルブ、上面接続 NPT メス
- 高純度な腐食性薬品
- あらゆる半導体ウェーハの洗浄・剥離 (WEC) プロセス用薬品
- 9.53 mm (3/8") 以下の薬液配管用
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がない CR4 シリーズバルブは、完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- 薬液供給システムに合わせたマニホールド化を可能にするモジュール型設計
- インテグリスの独立型 Galtek® (ガルテック) SG シリーズバルブや Dymension® (ダイメンション) バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | |||
ポート接続 | 流量係数 | A | B |
1/4" (6.35 mm) フレアテック | 0.29 Cv (4.2 Kv) | 85.3 mm | 13.0 mm |
材質 | すべての接液部 | PFA | |
外部アクチュエータ部品 | PVDF、フッ素ゴム | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、フッ素ゴム | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件* | 最高使用圧力: | 21 °C | 入口: - 91.3 (負圧) ~ 552 kPa* |
出口: - 91.3 (負圧) ~ 276 kPa*, ** | |||
160 °C | 入口:276 kPa | ||
出口:138 kPa | |||
エア供給圧 | 345 ~ 552 kPa* | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 23 ~ 50 °C | |
流体温度 | 21 ~ 160 °C* | ||
エア供給ポート | 1/8 NPT メス | ||
適合規格 | RoHs & WEE | ||
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。 ** オプションの高圧用出口タイプは最高 552 kPaまで対応します。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
型番 | アクチュエータ | 入口 | 出口 | オプション |
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CR4-2CN-4F | 空圧式ノーマリークローズ | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |