198/192 シリーズ 200 mm ウェーハ搬送用キャリア
198/192 シリーズ 200 mm ウェーハ搬送用キャリアは、次の用途に適しています:
- 工程内搬送
- 装置互換性
- ウェーハの安全な保管
仕様書
D1 寸法 | 25.4 mm (キャリアに依る) |
ポケットピッチ | 6.4 mm (キャリアに依る) |
ポケットフラット | 1.7 mm (キャリアに依る) |
ウェーハ収容枚数 | 25 枚 |
ピンとホール | トップレール上にあり |
位置決め用中央ノッチ | 13 番目ポケット中央の脚部 |
キャリア側壁 | なし |
適合保管用ボックス | E99、E210、HA200 |
材料の仕様
STAT-PRO (スタットプロ) 9000 | 次世代の先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリエーテルエーテルケトン (PEEK) とカーボンナノチューブ (CNT) と混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 3000 | 先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
PEEK とカーボンファイバー (CF) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 100 | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリプロピレン (PP) とカーボンパウダー (CP) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
FluoroSentry® (フロロセントリー) | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリブチレンテレフタレート (PBT) とカ-ボンファイバーを混合した材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:95 °C | ||
青色ポリプロピレン | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
着色したポリプロピレン | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Cassette Molded Options
Carrier ID Option
型番 | エンドウォールハンドルタイプ | 色 | RFID | 材質 | 「H」バーエンドフランジ |
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FA192-80MNS-7902 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | FluoroSentry®カーボンファイバーPBT | なし |
FA192-80MNSM-7902 | 標準、ハイポジション | 黒 | あり | FluoroSentry®カーボンファイバーPBT | なし |
K198-80M-97C02 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 CNT PEEK | なし |
K198-80MB-97C02 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 CNT PEEK | あり |
KA198-80M-47C02 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000カーボンファイバーPEEK | なし |
KA198-80M-47C05 | 標準、ハイポジション | 緑 | なし | STAT-PRO® 3000カーボンファイバーPEEK | なし |
KA198-80MB-47C02 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000カーボンファイバーPEEK | あり |
KA198-80MRM-47C02 | 標準、ハイポジション | 黒 | あり | STAT-PRO® 3000カーボンファイバーPEEK | なし |
PA192-80M-0603 | 標準、ハイポジション | 青 | なし | ポリプロピレン | なし |
PA192-80M-0604 | 標準、ハイポジション | 赤 | なし | ポリプロピレン | なし |
PA192-80M-0605 | 標準、ハイポジション | 緑 | なし | ポリプロピレン | なし |
PA192-80M-0607 | 標準、ハイポジション | 黄 | なし | ポリプロピレン | なし |
PA192-80M-0609 | 標準、ハイポジション | オレンジ | なし | ポリプロピレン | なし |
PA192-80M-0615 | 標準、ハイポジション | ナチュラル | なし | ポリプロピレン | なし |