150 mm 以下のウェーハ保管ボックス用クッション
- 150 mm (6")、125 mm (5")、100 mm (4”) ウェーハ用保管ボックスに使用可能
型番 | ウェーハサイズ | 製品詳細 |
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E95-1-0815 | 125 mm | E89 および E93 シリーズ用クッション |
E95-2-0815 | 150 mm | E90シリーズ用クッション |
E95-3-0815 | 100 mm | E88 シリーズ保管ボックス用クッション |
E95-4-0815 | 100 mm | E97 シリーズ保管ボックス用クッション |
E95-6-0815 | 150 mm | E124シリーズ用クッション |