150 mm 以下のウェーハ キャリア用ハンドル
- ウェーハのハンドリング
- ウェーハ搬送
仕様書
型番 | ハンドルのタイプ | 製品詳細 | 適合ウェーハキャリア | 外形寸法 | 材質 |
A72-50-03-0215 PA72-50-03-0603 | スクイーズタイプ | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | 182 シリーズ、194 シリーズ、72 シリーズ、190 シリーズの「M」タイプ | 163 mm × 140 mm × 183 mm | PFA (ナチュラル) ポリプロピレン (青) |
A040-101-0215 | スクイーズタイプ (ロックバー付き) | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | 182 シリーズ、194 シリーズ、72 シリーズの「M」タイプ | 165 mm × 130 mm × 165 mm | PFA (ナチュラル) |
A047-0215 | スクイーズタイプ (サポートバー付き) | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | 182 シリーズ、194 シリーズ、72 シリーズの「M」タイプ | 165 mm × 152 mm × 203 mm | PFA (ナチュラル) |
A72-50-04B-0215 | スリングショットタイプ | キャリアの上部フランジにスライドさせて取り付け | 182シリーズ、194 シリーズの「M」タイプ | 15 mm × 170 mm × 246 mm | PFA (ナチュラル) |
A72-50-04-0215 | スリングショットタイプ | キャリアの上部フランジにスライドさせて取り付け | すべての 72 シリーズ | 15 mm × 170 mm × 246 mm | PFA (ナチュラル) |
型番 | ハンドルのタイプ | 製品詳細 | 適合ウェーハキャリア | 外形寸法 | 材質 |
A72-50-03-0215 PA72-50-03-0603 | スクイーズタイプ | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | すべての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ、190シリーズ | 163 mm × 140 mm × 183 mm (6.4" × 5.5" × 7.2") | PFA (ナチュラル)ポリプロピレン(青) |
A040-101-0215 | スクイーズタイプ(ロックバー付き) | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | すべての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ | 165 mm × 130 mm × 165 mm (6.5" × 5.1" × 6.5") | PFA (ナチュラル) |
A047-0215 | スクイーズタイプ(サポートバー付き) | キャリア両側のエンドウォールにあるノッチに取り付け | すべての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ | 165 mm × 152 mm × 203 mm (6.5" × 6.0" × 8.0") | PFA (ナチュラル) |
A72-50-04B-0215 | スリングショットタイプ | キャリアの上部フランジにスライドさせて取り付け | すべての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ | 15 mm × 170 mm × 246 mm (0.6" × 6.7" × 9.7") | PFA (ナチュラル) |
A72-50-04-0215 | スリングショットタイプ | キャリアの上部フランジにスライドさせて取り付け | すべての72シリーズ | 15 mm × 170 mm × 246 mm (0.6" × 6.7" × 9.7") | PFA (ナチュラル) |
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型番 | ウェーハサイズ | ハンドル | 材質 | プロファイル | 適合キャリア |
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A040-101-0215 | 125 mm | Squeeze with lock bar | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ |
A040-102-0215 | 100 mm | Squeeze with lock bar | PFA (ナチュラル) | Standard | All "M" style except A190-40M |
A040-103-0215 | 150 mm | Squeeze with lock bar | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ |
A047-0215 | 125 mm | Squeeze with support bar | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ |
A048-0215 | 100 mm | Squeeze with support bar | PFA (ナチュラル) | Standard | All "M" style except A190-40M |
A049-0215 | 150 mm | Squeeze with support bar | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ |
A053-0215 | 100 mm | エンドロードタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | A182-39MLB, A812-39MLC, A190-40M |
A055-0215 | 150 mm | エンドロードタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | All carriers with robotic flanges except those with "U" end walls or end wall handles |
A72-40-03-0215 | 100 mm | スクイーズタイプ | PFA (ナチュラル) | ハイ | All "M" style |
A72-40-04-0215 | 100 mm | スリングショットタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | A182-39M |
A72-40-04B-0215 | 100 mm | スリングショットタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | A182-39MLB, A182-39MLC, A182-39MU, A72-40MB |
A72-40-06-0215 | 100 mm | スクイーズタイプ | PFA (ナチュラル) | ロー | All "M" style |
A72-50-03-0215 | 125 mm | スクイーズタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ、72シリーズ、190シリーズ |
A72-50-04-0215 | 125 mm | スリングショットタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての72シリーズ |
A72-50-04B-0215 | 125 mm | スリングショットタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ |
A72-60-03-0215 | 150 mm | スクイーズタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | All "M" style |
A72-60-04-0215 | 150 mm | スリングショットタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | 全ての「M」タイプ、182シリーズ、194シリーズ |
A82-03-0215 | 76.2 mm | スクイーズタイプ | PFA (ナチュラル) | Standard | A82M, PA82M |
PA72-60-03-0603 | 150 mm | スクイーズタイプ | ポリプロピレン(青) | Standard | All "M" style |